| Название: | Спектральная эллипсометрия клиновидных полупроводниковых пленок на кремниевых подложках |
| Авторы: | Ивашкевич, И.В. Филиппов, В.В. |
| Дата публикации: | 2018 |
| Издательство: | Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины |
| Библиографическое описание: | Ивашкевич, И.В. Спектральная эллипсометрия клиновидных полупроводниковых пленок на кремниевых подложках / И.В. Ивашкевич, В.В. Филиппов // Проблемы взаимодействия излучения с веществом [Электронный ресурс] : V Международная научная конференция, посвященная академику Б.В. Бокутю (Гомель, 14–16 ноября 2018 г.) : материалы : в 2 ч. Ч. 2 / редкол.: Д.Л. Коваленко [и др.] ; М-во образования Республики Беларусь и др. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2018. – С. 104-108. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/37341 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| И.В. Ивашкевич1, В.В. Филиппов2.pdf | 260.95 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.