| Title: | Исследование и анализ рабочих характеристик автоматизированной эллипсометрической установки |
| Authors: | Алгазин, Ю.Б. Архипенко, А.В. Бакланов, М.Р. Блюмкина, Ю.А. Свиташев, К.К. Семененко, Л.В. Степанов, С.А. |
| Issue Date: | 1977 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | Алгазин, Ю.Б. Исследование и анализ рабочих характеристик автоматизированной эллипсометрической установки / Ю.Б. Алгазин [и др.] // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1977. – Т. 43, вып. 1. – С. 168-175. |
| Abstract: | Описана эллипсометрическая установка, предназначенная в первую очередь для исследования гетерогенных реакций в физико-химических процессов на поверхности твердого тела. Проведен сопоставительный анализ описываемого прибора с автоматическим эллипсометром с вращающимся анализатором. Возможности установки проиллюстрированы на примерах получения в сверхвысоком вакууме атомарно-чистой поверхности германия и адсорбции сухого кислорода на чистой поверхности кремния. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/37376 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Алгазин_Исследование.pdf | 14.82 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.