| Название: | Формирование пассивирующих слоев для микроэлектронных устройств на GaAs реактивным ионно-лучевым распылением |
| Авторы: | Телеш, Е.В. |
| Дата публикации: | 2016 |
| Издательство: | Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины |
| Библиографическое описание: | Телеш, Е.В. Формирование пассивирующих слоев для микроэлектронных устройств на GaAs реактивным ионно-лучевым распылением / Е.В. Телеш // Проблемы взаимодействия излучения с веществом : IV Республиканская научная конференция, посвященная 90-летию со дня рождения Б. В. Бокутя (Гомель, 9–11 ноября 2016 г.) : материалы : в 2 ч. Ч. 2. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2016. – С. 149-154. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/37688 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Телеш_Формирование.pdf | 550.03 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.