Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Свиташев, К.К. | - |
| dc.contributor.author | Семененко, А.И. | - |
| dc.contributor.author | Семененко, Л.В. | - |
| dc.contributor.author | Соколов, В.К. | - |
| dc.contributor.author | Филатова, Е.С. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-04-18T13:03:45Z | - |
| dc.date.available | 2022-04-18T13:03:45Z | - |
| dc.date.issued | 1977 | - |
| dc.identifier.citation | О точности и чувствительности метода эллипсометрии / К.К. Свиташев [и др.] // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1977. – Т. 42, вып. 6. – С. 1142-1147. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/37737 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрен вопрос о влиянии соотношения между амплитудными коэффициентами отражения света исследуемым образцом для s- и p-поляризованного светового пучка и неоднородности исследуемого образца на пороговую чувствительность эллипсометрии. | ru |
| dc.language.iso | Русский | ru |
| dc.publisher | Наука | ru |
| dc.title | О точности и чувствительности метода эллипсометрии | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.placeOfPublication | Ленинград | ru |
| dc.edition | 6 | ru |
| dc.volume | 42 | ru |
| Располагается в коллекциях: | Оцифрованный фонд | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Свиташев_О_точности.pdf | 8.68 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.