| Название: | О точности и чувствительности метода эллипсометрии |
| Авторы: | Свиташев, К.К. Семененко, А.И. Семененко, Л.В. Соколов, В.К. Филатова, Е.С. |
| Дата публикации: | 1977 |
| Издательство: | Наука |
| Библиографическое описание: | О точности и чувствительности метода эллипсометрии / К.К. Свиташев [и др.] // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1977. – Т. 42, вып. 6. – С. 1142-1147. |
| Краткий осмотр (реферат): | Рассмотрен вопрос о влиянии соотношения между амплитудными коэффициентами отражения света исследуемым образцом для s- и p-поляризованного светового пучка и неоднородности исследуемого образца на пороговую чувствительность эллипсометрии. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/37737 |
| Располагается в коллекциях: | Оцифрованный фонд |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Свиташев_О_точности.pdf | 8.68 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.