| Title: | О точности и чувствительности метода эллипсометрии |
| Authors: | Свиташев, К.К. Семененко, А.И. Семененко, Л.В. Соколов, В.К. Филатова, Е.С. |
| Issue Date: | 1977 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | О точности и чувствительности метода эллипсометрии / К.К. Свиташев [и др.] // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1977. – Т. 42, вып. 6. – С. 1142-1147. |
| Abstract: | Рассмотрен вопрос о влиянии соотношения между амплитудными коэффициентами отражения света исследуемым образцом для s- и p-поляризованного светового пучка и неоднородности исследуемого образца на пороговую чувствительность эллипсометрии. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/37737 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Свиташев_О_точности.pdf | 8.68 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.