Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПримак, И.У.-
dc.contributor.authorХомченко, А.В.-
dc.contributor.authorКазаченко, Н.И.-
dc.date.accessioned2022-04-19T12:00:41Z-
dc.date.available2022-04-19T12:00:41Z-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.citationПримак, И.У. Рефлектометрия наноразмерных слоев на кремниевой подложке / И.У. Примак, А.В. Хомченко, Н.И. Казаченко // Проблемы взаимодействия излучения с веществом [Электронный ресурс] : V Международная научная конференция, посвященная академику Б.В. Бокутю (Гомель, 14–16 ноября 2018 г.) : материалы : в 2 ч. Ч. 2 / редкол.: Д.Л. Коваленко [и др.] ; М-во образования Республики Беларусь и др. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2018. – С. 176-182.ru
dc.identifier.urihttp://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/37856-
dc.language.isoРусскийru
dc.publisherГомельский государственный университет им. Ф. Скориныru
dc.titleРефлектометрия наноразмерных слоев на кремниевой подложкеru
dc.typeArticleru
dc.rootПроблемы взаимодействия излучения с веществом [Электронный ресурс]ru
dc.placeOfPublicationГомельru
Appears in Collections:Статьи

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
И.У. Примак, А.В. Хомченко, Н.И. Казаченко.pdf465.52 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.