Название: | Рефлектометрия наноразмерных слоев на кремниевой подложке |
Авторы: | Примак, И.У. Хомченко, А.В. Казаченко, Н.И. |
Дата публикации: | 2018 |
Издательство: | Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины |
Библиографическое описание: | Примак, И.У. Рефлектометрия наноразмерных слоев на кремниевой подложке / И.У. Примак, А.В. Хомченко, Н.И. Казаченко // Проблемы взаимодействия излучения с веществом [Электронный ресурс] : V Международная научная конференция, посвященная академику Б.В. Бокутю (Гомель, 14–16 ноября 2018 г.) : материалы : в 2 ч. Ч. 2 / редкол.: Д.Л. Коваленко [и др.] ; М-во образования Республики Беларусь и др. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2018. – С. 176-182. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/37856 |
Располагается в коллекциях: | Статьи |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
И.У. Примак, А.В. Хомченко, Н.И. Казаченко.pdf | 465.52 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.