Морфология и оптические свойства многослойных покрытий из тугоплавких оксидов

Abstract

Определены морфологические особенности формирования и оптические свойства многослойных покрытий на основе тугоплавких оксидов SiO₂, ZrO₂, TiO₂, формируемых электронно-лучевым испарением. Проведён анализ спектров поляризации сформированных покрытий и их зависимости от природы материала подложки. Показано, что отношение коэффициентов пропускания p-поляризованного и s-поляризованного излучения в видимой области максимально при нанесении покрытия на подложку из стекла К-8С (в сравнении с подложками из кварца и полиметилметакрилата). Морфология слоёв покрытий характеризуется низкими значениями шероховатости 1,6…4,1 нм, что определяет перспективность их применения в качестве поляризационных элементов. The morphological features of the formation and optical properties of multilayer coatings based on refractory oxides of SiO₂, ZrO₂, TiO₂, formed by electron beam evaporation, are established. The polarization spectra of the formed coatings and dependence of these spectra on the nature of the substrate material were analyzed. It is shown that the ratio of the transmittance coefficients of p-polarized and s-polarized radiation in the visible spectral region is maximal when the coating is deposited on the surface made of glass K-8C (in comparison with the substrates made of quartz and polymethylmethacrylate). The morphology of the coatings is characterized by low values of roughness of 1.6...4.1 nm, that determines the prospects of their application as polarization elements.