| Title: | Суспензии СПС-8 и СПС-55 для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния |
| Authors: | Мельникова, Е.А. |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины |
| Citation: | Мельникова, Е.А. Суспензии СПС-8 и СПС-55 для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния / Е.А. Мельниклва// Творчество молодых` 2014 : сборник научных работ студентов, магистрантов и аспирантов. В 3 ч. / редкол.: О.М. Демиденко [и др.] ; М-во образования Республики Беларусь, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2014. – Ч. 1. – С. 128-132. |
| Abstract: | В статье описывается методика приготовления высокоэффективных полирующих суспензий на основе наноразмерных порошков SiO2 для химико-механического полирования пластин монокристаллического кремния, результаты исследований полирующих свойств суспензий СПС-8 и СПС-55 и их сравнение с коммерческими золями Nalko 2358 и Nalko 2360 (США), а также приводятся АСМ изображения поверхности пластин кремния после I и II стадий химико-механического полирования полученными суспензиями. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/50104 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Мельникова_Суспензии.pdf | 808.85 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.