| Название: | Особенности спектральной диагностики процессов удаления фоторезистивных пленок в плазме ВЧ и СВЧ разрядов |
| Авторы: | Клакевич, М.С. Бордусов, С.В. |
| Дата публикации: | 2021 |
| Издательство: | Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины |
| Библиографическое описание: | Клакевич, М.С. Особенности спектральной диагностики процессов удаления фоторезистивных пленок в плазме ВЧ и СВЧ разрядов / М.С. Клакевич ; науч. рук. С.В. Бордусов // Актуальные вопросы физики и техники [Электронный ресурс] : X Республиканская научная конференция студентов, магистрантов и аспирантов (Гомель, 22 апреля 2021 года) : сборник материалов : в 2 ч. / М-во образования Республики Беларусь, Гомельский гос. ун-т им. Ф. Скорины ; редкол. : Д. Л. Коваленко (гл. ред.) [и др.]. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2021. – Ч. 1. – С. 101-104. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/52119 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Клакевич_Особенности.pdf | 354.9 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.