Название: Особенности спектральной диагностики процессов удаления фоторезистивных пленок в плазме ВЧ и СВЧ разрядов
Авторы: Клакевич, М.С.
Бордусов, С.В.
Дата публикации: 2021
Издательство: Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины
Библиографическое описание: Клакевич, М.С. Особенности спектральной диагностики процессов удаления фоторезистивных пленок в плазме ВЧ и СВЧ разрядов / М.С. Клакевич ; науч. рук. С.В. Бордусов // Актуальные вопросы физики и техники [Электронный ресурс] : X Республиканская научная конференция студентов, магистрантов и аспирантов (Гомель, 22 апреля 2021 года) : сборник материалов : в 2 ч. / М-во образования Республики Беларусь, Гомельский гос. ун-т им. Ф. Скорины ; редкол. : Д. Л. Коваленко (гл. ред.) [и др.]. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2021. – Ч. 1. – С. 101-104.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/52119
Располагается в коллекциях:Статьи

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Клакевич_Особенности.pdf354.9 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.