| Title: | Эллипсометрические исследования шероховатых поверхностей кремния |
| Authors: | Бендере, Р.Б. Калныня, Р.П. Фелтынь, И.А. |
| Issue Date: | 1982 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | Бендере, Р.Б. Эллипсометрические исследования шероховатых поверхностей кремния / Р.Б. Бендере, Р.П. Калныня, И.А. Фелтынь // Оптика и спектроскопия / АН СССР. - Ленинград : Наука, 1982. - Т. 53, вып. 3. - С. 507-511. |
| Abstract: | Рассмотрена возможность эллипсометрического определения параметров микронеровностей шероховатых кремниевых поверхностей. На основе исследований шероховатых поверхностей двух видов показано, что при установленном виде шероховатости эллипсометрические методы дают результаты, хорошо соответствующие микроскопическим исследованиям. Для определения вида шероховатости предложено использовать иммерсионную эллипсометрию. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/53333 |
| Располагается в коллекциях: | Оцифрованный фонд |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Бендере_Эллипсометрические.pdf | 8.06 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.