Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Руденков, А.С. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-08-03T08:16:16Z | - |
| dc.date.available | 2018-08-03T08:16:16Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Моделирование процесса ионной имплантации : лабораторная работа № 6 по учебной дисциплине "Микро- и наноэлектроника" / сост. А.С. Руденков ; Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины. - Гомель, 2017. - 10 с. | ru |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/123456789/5370 | - |
| dc.language.iso | Русский | ru |
| dc.publisher | Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины | ru |
| dc.subject | микроэлектроника | ru |
| dc.subject | наноэлектроника | ru |
| dc.subject | лабораторная работа | ru |
| dc.subject | ионная имплантация | ru |
| dc.title | Моделирование процесса ионной имплантации | ru |
| Располагается в коллекциях: | физическая электроника : 4 курс | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Лаб №6 Моделирование процесса ионной имплантации.pdf | 673.94 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.