| Название: | Моделирование процесса ионной имплантации |
| Авторы: | Руденков, А.С. |
| Ключевые слова: | микроэлектроника наноэлектроника лабораторная работа ионная имплантация |
| Дата публикации: | 2017 |
| Издательство: | Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины |
| Библиографическое описание: | Моделирование процесса ионной имплантации : лабораторная работа № 6 по учебной дисциплине "Микро- и наноэлектроника" / сост. А.С. Руденков ; Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины. - Гомель, 2017. - 10 с. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://hdl.handle.net/123456789/5370 |
| Располагается в коллекциях: | физическая электроника : 4 курс |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Лаб №6 Моделирование процесса ионной имплантации.pdf | 673.94 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.