| Title: | Моделирование процесса ионной имплантации |
| Authors: | Руденков, А.С. |
| Keywords: | микроэлектроника наноэлектроника лабораторная работа ионная имплантация |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины |
| Citation: | Моделирование процесса ионной имплантации : лабораторная работа № 6 по учебной дисциплине "Микро- и наноэлектроника" / сост. А.С. Руденков ; Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины. - Гомель, 2017. - 10 с. |
| URI: | http://hdl.handle.net/123456789/5370 |
| Appears in Collections: | физическая электроника : 4 курс |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Лаб №6 Моделирование процесса ионной имплантации.pdf | 673.94 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.