Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorЯковлев, В.А.-
dc.date.accessioned2023-02-14T09:41:02Z-
dc.date.available2023-02-14T09:41:02Z-
dc.date.issued1982-
dc.identifier.citationЭллипсометрический метод определения параметров тонкой изотропной прозрачной пленки на анизотропной поверхности, учитывающие малые приборные ошибки / В.А. Яковлев // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1982. – Т. 52, вып. 5. – С. 858-863.ru
dc.identifier.urihttp://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/53874-
dc.description.abstractПредложен эллипсометрический метод определения толщины и диэлектрической проницаемости тонкой прозрачной изотропной пленки на двуосном непоглощающем кристалле. Для применения метода необходимо нахождение в любых трех измерительных зонах трех пар углов гашения поляризатора и анализатора. Рассмотрена возможность устранения в результатах систематических ошибок, связанных с несовершенством оптических элементов эллипсометра.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherНаукаru
dc.titleЭллипсометрический метод определения параметров тонкой изотропной прозрачной пленки на анизотропной поверхности, учитывающие малые приборные ошибкиru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udk535.0 : 539.238-
dc.rootОптика и спектроскопияru
dc.placeOfPublicationЛенинградru
dc.edition5ru
dc.volume52ru
Располагается в коллекциях:Оцифрованный фонд

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Яковлев_Эллипсометрический.pdf8.09 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.