Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Яковлев, В.А. | - |
| dc.date.accessioned | 2023-02-14T09:41:02Z | - |
| dc.date.available | 2023-02-14T09:41:02Z | - |
| dc.date.issued | 1982 | - |
| dc.identifier.citation | Эллипсометрический метод определения параметров тонкой изотропной прозрачной пленки на анизотропной поверхности, учитывающие малые приборные ошибки / В.А. Яковлев // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1982. – Т. 52, вып. 5. – С. 858-863. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/53874 | - |
| dc.description.abstract | Предложен эллипсометрический метод определения толщины и диэлектрической проницаемости тонкой прозрачной изотропной пленки на двуосном непоглощающем кристалле. Для применения метода необходимо нахождение в любых трех измерительных зонах трех пар углов гашения поляризатора и анализатора. Рассмотрена возможность устранения в результатах систематических ошибок, связанных с несовершенством оптических элементов эллипсометра. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Наука | ru |
| dc.title | Эллипсометрический метод определения параметров тонкой изотропной прозрачной пленки на анизотропной поверхности, учитывающие малые приборные ошибки | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udk | 535.0 : 539.238 | - |
| dc.root | Оптика и спектроскопия | ru |
| dc.placeOfPublication | Ленинград | ru |
| dc.edition | 5 | ru |
| dc.volume | 52 | ru |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Яковлев_Эллипсометрический.pdf | 8.09 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.