| Название: | Эллипсометрический метод определения параметров тонкой изотропной прозрачной пленки на анизотропной поверхности, учитывающие малые приборные ошибки |
| Авторы: | Яковлев, В.А. |
| Дата публикации: | 1982 |
| Издательство: | Наука |
| Библиографическое описание: | Эллипсометрический метод определения параметров тонкой изотропной прозрачной пленки на анизотропной поверхности, учитывающие малые приборные ошибки / В.А. Яковлев // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1982. – Т. 52, вып. 5. – С. 858-863. |
| Краткий осмотр (реферат): | Предложен эллипсометрический метод определения толщины и диэлектрической проницаемости тонкой прозрачной изотропной пленки на двуосном непоглощающем кристалле. Для применения метода необходимо нахождение в любых трех измерительных зонах трех пар углов гашения поляризатора и анализатора. Рассмотрена возможность устранения в результатах систематических ошибок, связанных с несовершенством оптических элементов эллипсометра. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/53874 |
| Располагается в коллекциях: | Оцифрованный фонд |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Яковлев_Эллипсометрический.pdf | 8.09 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.