| Title: | Эллипсометрический метод определения параметров тонкой изотропной прозрачной пленки на анизотропной поверхности, учитывающие малые приборные ошибки |
| Authors: | Яковлев, В.А. |
| Issue Date: | 1982 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | Эллипсометрический метод определения параметров тонкой изотропной прозрачной пленки на анизотропной поверхности, учитывающие малые приборные ошибки / В.А. Яковлев // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1982. – Т. 52, вып. 5. – С. 858-863. |
| Abstract: | Предложен эллипсометрический метод определения толщины и диэлектрической проницаемости тонкой прозрачной изотропной пленки на двуосном непоглощающем кристалле. Для применения метода необходимо нахождение в любых трех измерительных зонах трех пар углов гашения поляризатора и анализатора. Рассмотрена возможность устранения в результатах систематических ошибок, связанных с несовершенством оптических элементов эллипсометра. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/53874 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Яковлев_Эллипсометрический.pdf | 8.09 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.