| Title: | Методы получения тонких пленок |
| Authors: | Гольдаде, В.А. Федосенко, Н.Н. |
| Keywords: | термовакуумное напыление реактивное распыление лазерное испарение резистивное испарение методы получения тонких пленок |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | Гомельскі дзяржаўны універсітэт імя Ф. Скарыны |
| Citation: | Гольдаде, В. А. Методы получения тонких пленок : практическое пособие по курсу «Материалы электронной техники» для студентов физического факультета / В.А. Гольдаде, Н.Н. Федосенко ; М-во образования РБ, Гомельский гос. ун-т им. Ф. Скорины. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2015. – 41 с. |
| Abstract: | Издание разработано в соответствии с Типовой учебной программой «Материалы электронной техники» и с требованиями образовательного стандарта высшего образования по специальности 1-31 04 03 «Физическая электроника». В практическом руководстве изложены основные данные о методах получения тонких пленок: термовакуумное напыление, ионно-плазменные и ионно-лучевые методы. |
| URI: | http://hdl.handle.net/123456789/5533 |
| ISBN: | 978-985-577-070-2 |
| Appears in Collections: | факультет физики и информационных технологий : документы для всех специальностей |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| макет ТОНКИЕ ПЛЕНКИ_ч_гольдаде_методы+.pdf | 1.41 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.