Название: Оптимизация параметров лазерного раскалывания двухслойных структур из монокристаллического кремния и стекла с использованием генетического алгоритма
Авторы: Никитюк, Ю.В.
Сердюков, А.Н.
Аушев, И.Ю.
Дата публикации: 2022
Издательство: Астраханский государственный технический университет
Библиографическое описание: Никитюк, Ю.В. Оптимизация параметров лазерного раскалывания двухслойных структур из монокристаллического кремния и стекла с использованием генетического алгоритма / Ю.В. Никитюк, А.В. Сердюков, И.Ю. Аушев // Технические средства систем управления и связи : Международный научный форум (VI Международная конференция «Информационные технологии и технические средства управления» (ICCT-2022), 15-я Международная конференция «Акустооптические и радиолокационные методы измерений и обработки информации» (ARMIMP-2022)), Астрахань, 3-7 октября 2022 года : материалы / Астраханский государственный технический университет. – Астрахань : Изд-во АГТУ, 2022. – С. 380-382.
Краткий осмотр (реферат): В работе при помощи численного моделирования определены значения технологических параметров, обеспечивающие эффективное лазерное раскалывание двухслойных структур из монокристаллического кремния и стекла при воздействии на обрабатываемое изделие лазерного пучка с длиной волны, равной 1,06 мкм, и хладагента. Выполнена многокритериальная оптимизация лазерного раскалывания двухслойных структур с использованием генетического алгоритма MOGA, встроенного в модуль DesignXplorer программы ANSYS Workbench. С использованием языка программирования APDL выполнен расчёт температур и термоупругих напряжений. Получена регрессионная модель резки двухслойных структур из монокристаллического кремния и стекла с использованием гранецентрированного варианта центрального композиционного плана эксперимента. В качестве варьируемых факторов использовались скорость обработки, мощность лазера, радиус пятна излучения пучка и толщина двухслойной структуры. В качестве откликов использовались максимальные температуры и напряжения растяжения в зоне лазерной обработки. Выполнена оценка влияния параметров обработки на максимальные значения температуры и напряжений растяжения в зоне лазерной обработки. Выполнена оптимизация лазерного раскалывания материала по критериям максимума растягивающих напряжений и максимума скорости обработки.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/57688
Располагается в коллекциях:Статьи

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Никитюк_Оптимизация.pdf496.04 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.