Название: | Концентрированные суспензии на основе диоксида кремния для химико-механической полировки полупроводниковых материалов |
Авторы: | Мельникова, Е.А. Косенок, Я.А. |
Дата публикации: | 2013 |
Издательство: | Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины |
Библиографическое описание: | Мельникова, Е.А. Концентрированные суспензии на основе диоксида кремния для химико-механической полировки полупроводниковых материалов / Е.А. Мельникова ; науч. рук. Я.А. Косенок // Дни студенческой науки : материалы XLII студенческой научно-практической конференции (Гомель, 24-25 апреля 2013 года) : в 2 ч. / ред. коллегия : О.М. Демиденко [и др.] ; М-во образования РБ, Гомельский гос. ун-т им. Ф. Скорины. - Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2013. - Ч. 1. - С. 53-54. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/58664 |
Располагается в коллекциях: | Статьи |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Мельникова_Концентрированные.pdf | 204.87 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.