Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Биленко, Д.И. | - |
| dc.contributor.author | Дворкин, Б.А. | - |
| dc.contributor.author | Дружинина, Т.Ю. | - |
| dc.contributor.author | Краснобаев, С.Н. | - |
| dc.contributor.author | Полянская, В.П. | - |
| dc.date.accessioned | 2023-06-21T12:36:38Z | - |
| dc.date.available | 2023-06-21T12:36:38Z | - |
| dc.date.issued | 1983 | - |
| dc.identifier.citation | Биленко, Д.И. Элипсометрия слоистых структур IN SITU (решение обратной задачи) / Д.И. Биленко [и др.] // Оптика и спектроскопия / АН СССР. - Ленинград : Наука, 1983. - Т. 55, вып. 5. - С. 885-890. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/61597 | - |
| dc.description.abstract | Проанализированы возможности решения обратной задачи эллипсометрии прозрачных слоев в слоистых структурах в процессе их формирования (осаждения или травления). Предложена методика решения, основанная на расширении получаемой в ходе образования структуры информации измерением наряду с поляризационными одного из энергетических параметров отраженного излучения. Разработанный алгоритм решения обратной задачи на ЭВМ при таком контроле основывается на использовании условия прозрачности контролируемого слоя и линеаризации уравнений Эйри при поиске начальных приближений. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Наука | ru |
| dc.title | Элипсометрия слоистых структур IN SITU (решение обратной задачи) | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udk | 535.51 | - |
| dc.root | Оптика и спектроскопия | ru |
| dc.placeOfPublication | Ленинград | ru |
| dc.edition | 5 | ru |
| dc.volume | 55 | ru |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Биленко_Эллипсометрия.pdf | 36.33 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.