| Название: | Элипсометрия слоистых структур IN SITU (решение обратной задачи) |
| Авторы: | Биленко, Д.И. Дворкин, Б.А. Дружинина, Т.Ю. Краснобаев, С.Н. Полянская, В.П. |
| Дата публикации: | 1983 |
| Издательство: | Наука |
| Библиографическое описание: | Биленко, Д.И. Элипсометрия слоистых структур IN SITU (решение обратной задачи) / Д.И. Биленко [и др.] // Оптика и спектроскопия / АН СССР. - Ленинград : Наука, 1983. - Т. 55, вып. 5. - С. 885-890. |
| Краткий осмотр (реферат): | Проанализированы возможности решения обратной задачи эллипсометрии прозрачных слоев в слоистых структурах в процессе их формирования (осаждения или травления). Предложена методика решения, основанная на расширении получаемой в ходе образования структуры информации измерением наряду с поляризационными одного из энергетических параметров отраженного излучения. Разработанный алгоритм решения обратной задачи на ЭВМ при таком контроле основывается на использовании условия прозрачности контролируемого слоя и линеаризации уравнений Эйри при поиске начальных приближений. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/61597 |
| Располагается в коллекциях: | Оцифрованный фонд |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Биленко_Эллипсометрия.pdf | 36.33 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.