Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Аникин, В.И. | - |
| dc.contributor.author | Зайцев, С.В. | - |
| dc.contributor.author | Строкин, М.В. | - |
| dc.contributor.author | Шевцов, В.М. | - |
| dc.date.accessioned | 2023-09-20T08:03:30Z | - |
| dc.date.available | 2023-09-20T08:03:30Z | - |
| dc.date.issued | 1985 | - |
| dc.identifier.citation | Однородные на большой площади диэлектрические волноводные пленки, полученные катодным распылением / В.И. Аникин, С.В. Зайцев, М.В. Строкин, В.М. Шевцов // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1985. – Т. 58, вып. 5. - С. 1081-1084. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/62646 | - |
| dc.description.abstract | При катодном напылении диэлектрических пленок, в частности оптических волноводных пленок Ta₂O₅, имеют место неоднородности толщины и показателя преломления, которые помимо размеров распылительной системы зависят от параметров технологических режимов. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Наука | ru |
| dc.title | Однородные на большой площади диэлектрические волноводные пленки, полученные катодным распылением | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udk | 621.372.8 : 535 | - |
| dc.root | Оптика и спектроскопия | ru |
| dc.placeOfPublication | Ленинград | ru |
| dc.edition | 5 | ru |
| dc.volume | 58 | ru |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Аникин_Однородные.pdf | 20.62 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.