| Название: | Однородные на большой площади диэлектрические волноводные пленки, полученные катодным распылением |
| Авторы: | Аникин, В.И. Зайцев, С.В. Строкин, М.В. Шевцов, В.М. |
| Дата публикации: | 1985 |
| Издательство: | Наука |
| Библиографическое описание: | Однородные на большой площади диэлектрические волноводные пленки, полученные катодным распылением / В.И. Аникин, С.В. Зайцев, М.В. Строкин, В.М. Шевцов // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1985. – Т. 58, вып. 5. - С. 1081-1084. |
| Краткий осмотр (реферат): | При катодном напылении диэлектрических пленок, в частности оптических волноводных пленок Ta₂O₅, имеют место неоднородности толщины и показателя преломления, которые помимо размеров распылительной системы зависят от параметров технологических режимов. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/62646 |
| Располагается в коллекциях: | Оцифрованный фонд |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Аникин_Однородные.pdf | 20.62 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.