| Title: | Однородные на большой площади диэлектрические волноводные пленки, полученные катодным распылением |
| Authors: | Аникин, В.И. Зайцев, С.В. Строкин, М.В. Шевцов, В.М. |
| Issue Date: | 1985 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | Однородные на большой площади диэлектрические волноводные пленки, полученные катодным распылением / В.И. Аникин, С.В. Зайцев, М.В. Строкин, В.М. Шевцов // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1985. – Т. 58, вып. 5. - С. 1081-1084. |
| Abstract: | При катодном напылении диэлектрических пленок, в частности оптических волноводных пленок Ta₂O₅, имеют место неоднородности толщины и показателя преломления, которые помимо размеров распылительной системы зависят от параметров технологических режимов. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/62646 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Аникин_Однородные.pdf | 20.62 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.