Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorКупо, А.Н.-
dc.contributor.authorЕмельянов, В.В.-
dc.contributor.authorЕмельянов, В.А.-
dc.contributor.authorKupo, A.N.-
dc.contributor.authorEmelyanov, V.V.-
dc.contributor.authorEmelyanov, V.A.-
dc.date.accessioned2023-09-28T07:53:40Z-
dc.date.available2023-09-28T07:53:40Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationКупо, А.Н. Моделирование влияния инфракрасного излучения на фазовый состав покрытий диоксида кремния / А.Н. Купо, В.В. Емельянов, В.А. Емельянов // Проблемы физики, математики и техники. Сер. Техника. - 2023. - № 3 (56). - С. 64-68.ru
dc.identifier.urihttp://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/62869-
dc.description.abstractПроведено математическое моделирование взаимодействия излучения ближнего инфракрасного (ИК) диапазона с покрытием диоксида кремния при длительности импульса τ = 0,05–0,5 секунды и экспозиции E = 0,1–1,0 Дж/см². Дана оценка снижения скорости плазмохимического травления (ПХТ) SiO₂ покрытия за счёт повышения средней энергии связи в кристаллической решётке вследствие термической модификации фазового состава указанного покрытия. = Mathematical modeling of the interaction of radiation in the near infrared range with a coating of silicon dioxide was carried out at a pulse duration τ = 0,05–0,5 seconds and exposure E = 0,1 to 1,0 J/cm². An estimate is made of the decrease in the rate of plasma-chemical etching of a SiO₂ coating due to an increase in the average binding energy in the crystal lattice due to thermal modification of the phase composition of the specified coating.ru
dc.language.isoruru
dc.publisherГомельский государственный университет имени Ф.Скориныru
dc.subjectплазмохимическое травлениеru
dc.subjectдиоксид кремнияru
dc.subjectинфракрасное излучениеru
dc.subjectматематическое моделированиеru
dc.subjectplasma-chemical etchingru
dc.subjectsilicon dioxideru
dc.subjectinfrared radiationru
dc.subjectmathematical modelingru
dc.titleМоделирование влияния инфракрасного излучения на фазовый состав покрытий диоксида кремнияru
dc.title.alternativeModeling of ir radiation influence on the phase composition of silicon dioxide coatingsru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udk621.382-
dc.rootПроблемы физики, математики и техникиru
dc.placeOfPublicationГомельru
dc.seriesТехникаru
dc.number№ 3 (56)ru
dc.identifier.DOIhttps://doi.org/10.54341/20778708_2023_3_56_64ru
Располагается в коллекциях:Проблемы физики, математики, техники. Техника

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Купо_Моделирование.pdf379.59 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.