Optimization of laser cleaving of silicate glasses with elliptical beams using fracture mechanics parameters

Abstract

В рамках механики разрушения с использованием генетического алгоритма была проведена оптимизация параметров резки силикатных стекол эллиптическими лазерными пучками. С использованием языка программирования APDL были выполнены расчеты температур, термоупругих напряжений и коэффициентов интенсивности напряжений. Были построены соответствующие регрессионные модели для пяти факторов: скорости резки, мощности лазера, длины стартовой трещины и длины полуосей эллиптического лазерного пучка. Значения максимальных температур в зоне обработки, значения термоупругих напряжений и коэффициентов интенсивности напряжений KI в вершине стартовой трещины использовались в качестве откликов. Была проведена оценка влияния варьируемых факторов на отклики. Выполнено сравнение значений откликов, полученных в результате оптимизации с использованием генетического алгоритма со значениями, полученными в результате конечно-элементного моделирования. В результате оптимизации лазерного раскалывания эллиптическими пучками были установлены значения технологических параметров, обеспечивающие повышение надежности и производительности процесса резки силикатных стекол эллиптическими лазерными пучками. = This paper presents the optimization of cutting parameters of silicate glasses with elliptical laser beams as part of fracture mechanics using a genetic algorithm. Temperatures, thermoelastic stresses and stress intensity factors were calculated via APDL (Ansys Parametric Design Language). Corresponding regression models were built for five factors: cutting speed, laser power, initial crack length, and elliptical laser beam semi-axis length. The values of maximum temperatures in the treatment zone, values of thermoelastic stresses and stress intensity coefficients KI at the initial crack tip were used as responses. The influence of varying factors on the responses was evaluated. The comparison of the response values, obtained as a result of optimization using a genetic algorithm with the values resulting from finite element simulation, was performed. As a result of optimizing laser cleaving with elliptical beams, the values of technological parameters were established. These parameters ensure an increase in reliability and productivity of the process of cutting silicate glasses with elliptical laser beams.