Title: | Способ разделения кристаллического кремния под действием термоупругих напряжений |
Authors: | Сердюков, А.Н. Шалупаев, С.В. Никитюк, Ю.В. Шолох, В.Ф. |
Issue Date: | 2013 |
Citation: | Патент 2497643 Российская Федерация, МПК B23K 26/38 (2006.01), B23K 31/10 (2006.01), C03B 33/02 (2006.01). Способ разделения кристаллического кремния под действием термоупругих напряжений [Текст] / А.Н. Сердюков, С.В. Шалупаев, Ю.В. Никитюк, В.Ф. Шолох ; заявитель и патентообладатель Учреждение образования «Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины». - № 2011111424/02 ; заявл. 25.03.2011 ; опубл.: 10.11.2013, Бюл. № 31. - 9 с. |
URI: | https://elib.gsu.by/handle123456789/65921 |
Appears in Collections: | Патенты |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Сердюков_Способ.pdf | 181.98 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.