Название: | Особенности управляемого лазерного термораскалывания кристаллического кремния |
Авторы: | Сердюков, А.Н. Шалупаев, С.В. Никитюк, Ю.В. |
Дата публикации: | 2010 |
Библиографическое описание: | Сердюков, А.Н. Особенности управляемого лазерного термораскалывания кристаллического кремния / А.Н. Сердюков, С.В. Шалупаев, Ю.В. Никитюк // Кристаллография. - 2010. - Т. 55, № 6. - С. 992-996. |
Краткий осмотр (реферат): | Выполнено численное моделирование процесса управляемого лазерного термораскалывания кристаллического кремния. Трехмерный анализ термоупругих полей, формируемых в монокристаллической кремниевой пластине в результате последовательного лазерного нагрева и воздействия хладагента, осуществлялся для трех различных вариантов анизотропии. Моделирование проводилось для случаев воздействия лазерного излучения с длинами волн, равными 1.06 и 0.808 мкм. Проведена экспериментальная проверка полученных результатов с использованием твердотельного лазера на алюмоиттриевом гранате. Полученные результаты могут быть использованы в электронной промышленности для оптимизации процесса прецизионного разделения приборных пластин на кристаллы. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.gsu.by/handle123456789/66069 |
Располагается в коллекциях: | Статьи |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Сердюков_Особенности.pdf | 241.49 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.