| Title: | Золь-гель технология синтеза высокотемпературного соединения «кремний – диэлектрик – кремний» для применения в микроэлектронике |
| Other Titles: | Sol-gel high-temperature compound synthesis technology silicon – dielectric – silicon for use in microelectronics |
| Authors: | Гайшун, В.Е. Косенок, Я.А. Васькевич, В.В. Тюленкова, О.И. Алешкевич, Н.А. Ковальчук, Н.С. Петлицкий, А.Н. Gaishun, V.E. Kosenok, Y.A. Vaskevich, V.V. Tulenkova, O.I. Aleshkevich, N.A. Kovalchuk, N.S. Petlitski, A.N. |
| Keywords: | золь-гель метод высокотемпературное соединение кремний микроструктура склейка боросиликатная суспензия sol-gel method high-temperature bonding silicon gluing microstructure borosilicate suspension |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Гомельский государственный технический университет имени П.О. Сухого |
| Citation: | Золь-гель технология синтеза высокотемпературного соединения «кремний – диэлектрик – кремний» для применения в микроэлектронике / В.Е. Гайшун [и др.] // Вестник ГГТУ имени П.О. Сухого : научно - практический журнал. - 2023. - № 2. - С. 58-66. |
| Abstract: | Разработана лабораторная технология формирования высокотемпературного соединения «кремний – диэлектрик – кремний» посредством слоя стеклообразующего материала, полученного золь-гель методом, для микромеханических датчиков, работоспособных в широком диапазоне температур, силовых и тепловых нагрузок. Исследована микроструктура промежуточных золь-гель слоев и неразъемных соединений. Определены толщина и температура кристаллизации стекломатериала. The article shows laboratory technology for the formation of a high-temperature silicon-dielectric-silicon compound by means of a layer of glass-forming material obtained by the sol-gel method for micromechanical sensors that are operable in a wide range of temperatures, power and thermal loads. The microstructure of intermediate sol-gel layers and permanent joints has been studied. The thickness and crystallization temperature of the glass material were determined. |
| URI: | https://elib.gsu.by/handle123456789/66272 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Гайшун_Золь-гель.pdf | 2.43 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.