Название: Золь-гель технология синтеза высокотемпературного соединения «кремний – диэлектрик – кремний» для применения в микроэлектронике
Другие названия: Sol-gel high-temperature compound synthesis technology silicon – dielectric – silicon for use in microelectronics
Авторы: Гайшун, В.Е.
Косенок, Я.А.
Васькевич, В.В.
Тюленкова, О.И.
Алешкевич, Н.А.
Ковальчук, Н.С.
Петлицкий, А.Н.
Gaishun, V.E.
Kosenok, Y.A.
Vaskevich, V.V.
Tulenkova, O.I.
Aleshkevich, N.A.
Kovalchuk, N.S.
Petlitski, A.N.
Ключевые слова: золь-гель метод
высокотемпературное соединение
кремний
микроструктура
склейка
боросиликатная суспензия
sol-gel method
high-temperature bonding
silicon
gluing
microstructure
borosilicate suspension
Дата публикации: 2023
Издательство: Гомельский государственный технический университет имени П.О. Сухого
Библиографическое описание: Золь-гель технология синтеза высокотемпературного соединения «кремний – диэлектрик – кремний» для применения в микроэлектронике / В.Е. Гайшун [и др.] // Вестник ГГТУ имени П.О. Сухого : научно - практический журнал. - 2023. - № 2. - С. 58-66.
Краткий осмотр (реферат): Разработана лабораторная технология формирования высокотемпературного соединения «кремний – диэлектрик – кремний» посредством слоя стеклообразующего материала, полученного золь-гель методом, для микромеханических датчиков, работоспособных в широком диапазоне температур, силовых и тепловых нагрузок. Исследована микроструктура промежуточных золь-гель слоев и неразъемных соединений. Определены толщина и температура кристаллизации стекломатериала. The article shows laboratory technology for the formation of a high-temperature silicon-dielectric-silicon compound by means of a layer of glass-forming material obtained by the sol-gel method for micromechanical sensors that are operable in a wide range of temperatures, power and thermal loads. The microstructure of intermediate sol-gel layers and permanent joints has been studied. The thickness and crystallization temperature of the glass material were determined.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://elib.gsu.by/handle123456789/66272
Располагается в коллекциях:Статьи

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Гайшун_Золь-гель.pdf2.43 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.