Тонкопленочный конденсатор на основе титаната бария, сформированного золь-гель методом на титане

Abstract

На основе многослойной золь-гель пленки титаната бария с использованием титановой подложки изготовлен лабораторный тонкопленочный конденсатор. Приведены результаты измерения емкости и тангенса угла диэлектрических потерь сформированного конденсатора в диапазоне частот 0,2 кГц – 200 кГц. Установлено, что при переходе от низкочастотного диапазона к высокочастотному значение тангенса угла диэлектрических потерь уменьшается на порядок и составляет 0,032–0,039 для диапазона частот от 50 кГц до 200 кГц. Для всего исследуемого диапазона значение емкости конденсатора составляет 560–750 пФ и удельной емкости 41–55 нФ/см2. Для диапазона частот 0,2 кГц – 200 кГц рассчитана диэлектрическая проницаемость титаната бария, изменяющаяся от 136 до 43. = A laboratory thin-film capacitor was manufactured based on a multilayer sol-gel film of barium titanate using a titanium substrate. The results of measuring the capacitance and dielectric loss tangent of the formed capacitor in the frequency range 0.2 kHz – 200 kHz are presented. It has been established that when moving from the low-frequency range to the high-frequency one, the value of the dielectric loss tangent decreases by an order of magnitude and amounts to 0.032–0.039 for the frequency range from 50 kHz to 200 kHz. For the entire range under study, the capacitance value of the capacitor is 560–750 pF and the specific capacitance is 41–55 nF/cm2. For the frequency range 1 kHz – 10 kHz, the dielectric constant of barium titanate is calculated to be from 108 to 127.