Влияние режимов формирования и условий термообработки на фазовый состав и структуру кремний-углеродных покрытий, осаждаемых ионно-лучевым распылением

Abstract

Исследовано влияние режимов формирования и термообработки кремний-углеродных покрытий, осаждаемых путем ионнолучевого распыления карбида кремния, на их морфологию, химический и фазовый состав. Установлено, что увеличение мощности ионного-источника с 432 Вт до 738 Вт ведет к уменьшению фазового соотношения sp3/sp2 в 1,7 раза и увеличению соотношения Si-C/Si-O связей в 1,9 раза. Показано, что легирование углеродных покрытий карбидом кремния способствует увеличению их термостойкости. =The effect of the formation and heat treatment of silicon-carbon coatings deposited by ion-beam sputtering of silicon carbide on their morphology, chemical and phase composition is determined. It has been established that an increase in the power of the ion source from 432 W to 738 W leads to a decrease in the sp3/sp2 phase ratio by 1.7 times and an increase in the Si-C / Si-O bond ratio by 1.9 times. With an increase in the annealing temperature, a decrease in the carbon concentration, a decrease in the content of C – Si – O and Si – C bonds, and an increase in the concentration of silicon oxide in the coating are observed. Coatings formed at a source power of 738 W have a higher heat resistance (a slight change in the ID/IG ratio), which is caused by a higher relative concentration of silicon carbide (Si-C / Si-O = 0.15).