| Title: | Метод формирования токопроводящих межсоединений в материалах электронной техники |
| Authors: | Федосенко, Н.Н. Алешкевич, Н.А. Астахов, П.В. Купо, А.Н. |
| Keywords: | токопроводящие межсоединения фотолитография адгезия электрохимическое осаждение лазерная стимуляция |
| Issue Date: | 2013 |
| Citation: | Метод формирования токопроводящих межсоединений в материалах электронной техники / Н.Н. Федосенко, Н.А. Алешкевич, П.В. Астахов, А.Н. Купо // Чрезвычайные ситуации: образование и наука. - 2013. - Т. 8, № 2. - С. 72-76. |
| Abstract: | Рассмотрен метод послойного формирования трехмерных токопроводящих межсоединений на кремниевых подложках, отличающийся тем, что для повышения адгезионных свойств получаемых покрытий непосредственно на подложку наносится промежуточный подслой титана, а в целях обеспечения высокой токопроводящей способности полученных соединений процесс электрохимического осаждения сопровождается лазерной стимуляцией. |
| URI: | https://elib.gsu.by/handle123456789/80365 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Федосенко_Метод.pdf | 313.42 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.