| Title: | Золь-гель технологии в микро - и наноэлектронике |
| Authors: | Сидский, В.В. Семченко, А.В. Васькевич, В.В. |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины |
| Citation: | Сидский, В. В. Золь-гель технологии в микро - и наноэлектронике : практическое пособие / В. В. Сидский, А. В. Семченко, В. В. Васькевич ; Гомельский гос. ун-т им. Ф. Скорины. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2020. – 45 с. |
| Abstract: | Практическое пособие по курсу «Золь-гель технологии в микро- и наноэлектронике» включает пять лабораторных работ по базовым разделам курса, таким как физико-химические основы алкоксидного золь-гель процесса; особенности синтеза монолитных золь-гель материалов; реология золь-гель перехода; физико-химические особенности процесса сушки и спекания ксерогелей; золь-гель метод синтеза тонких пленок; электрофизические, оптические и структурные свойства золь-гель систем; особенности применения золь-гель систем в микро- и наноэлектронике. Адресовано студентам специальности 1-39 03 01 «Электронные системы безопасности». |
| URI: | http://elib.gsu.by/handle/123456789/9238 |
| ISBN: | 978-985-577-622-3 |
| Appears in Collections: | Практические пособия электронные системы безопасности : документы для всех курсов |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Сидский_ЗОЛЬ-ГЕЛЬ.pdf | 2.17 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.