| Title: | Об интерферометрическом измерении толщин очень тонких пленок |
| Authors: | Пророк, В.В. Шайкевич, И.А. |
| Issue Date: | 1980 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | Пророк, В.В. Об интерферометрическом измерении толщин очень тонких пленок / В.В. Пророк, И.А. Шайкевич // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1980. – Т. 49, вып. 1. – С. 122-125. |
| Abstract: | Показано, что метод определения толщины тонкой пленки, при котором на царапину в пленке наносится толстый слой высокоотражающего металла и затем интерференционным методом измеряется глубина образовавшейся канавки, позволяет измерить массовую толщину пленки. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/50043 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Пророк_Об_интерферометрическом.pdf | 5.42 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.