| Title: | Установка для получения алмазоподобных пленок |
| Authors: | Старовойтов, А.С. Зайцев, В.А. Шершнев, Е.Б. Шалупаев, С.В. Федосенко, Н.Н. Никитюк, Ю.В. Морозов, В.П. |
| Issue Date: | 2001 |
| Citation: | Патент 323 Республика Беларусь, С 23С 14/28. Установка для получения алмазоподобных пленок [Текст] / А.С. Старовойтов, В.А. Зайцев, Е.Б. Шершнев, С.В. Шалупаев, Н.Н. Федосенко, Ю.В. Никитюк, В.П. Морозов ; заявитель и патентообладатель Республиканское алмазообрабатывающее унитарное предприятие «Гомельское ПО «Кристалл». - № u 20000198 ; заявл. 19.12.2000 ; опубл.: 30.09.2001. – 3 с. |
| Abstract: | Установка для получения алмазоподобных пленок, содержащая рабочий лазер, формирующий объектив, вакуумную камеру и расположенные внутри нее держатели с мишенью и подложкой, на которую осаждается испаряемый материал мишени, отличающаяся тем, что дополнительно содержит вспомогательный лазер с длиной волны видимого диапазона, ионно-лучевой источник и устройство сканирования, причем вспомогательный и рабочий лазеры последовательно расположены на одной оптической оси установки. |
| URI: | https://elib.gsu.by/handle123456789/67795 |
| Appears in Collections: | Патенты |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| u323-bypatents.com.pdf | 117.62 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.