Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorВерховский, Е.И.-
dc.contributor.authorАжажа, Э.Г.-
dc.contributor.authorЕпифанов, Г.И.-
dc.contributor.authorСанжаровский, А.Т.-
dc.date.accessioned2025-09-23T11:03:25Z-
dc.date.available2025-09-23T11:03:25Z-
dc.date.issued1973-
dc.identifier.citationВнутренние напряжения в пленках SiO₂, полученных методом высокотемпературного окисления кремния / Е.И. Верховский, Э.Г. Ажажа, Г.И. Епифанов, А.Т. Санжаровский // Доклады Академии наук СССР.- Москва : Наука, 1973. - Т. 208, № 2.- С 329-330.ru
dc.identifier.urihttps://elib.gsu.by/handle123456789/79416-
dc.language.isoruru
dc.publisherНаукаru
dc.titleВнутренние напряжения в пленках SiO₂, полученных методом высокотемпературного окисления кремнияru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udk539.216.22 : 546.28-
dc.rootДоклады Академии наук СССРru
dc.placeOfPublicationМоскваru
dc.number2ru
dc.volume208ru
Appears in Collections:Оцифрованный фонд

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Верховский_Внутренние.pdf141.3 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.