| Title: | Внутренние напряжения в пленках SiO₂, полученных методом высокотемпературного окисления кремния |
| Authors: | Верховский, Е.И. Ажажа, Э.Г. Епифанов, Г.И. Санжаровский, А.Т. |
| Issue Date: | 1973 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | Внутренние напряжения в пленках SiO₂, полученных методом высокотемпературного окисления кремния / Е.И. Верховский, Э.Г. Ажажа, Г.И. Епифанов, А.Т. Санжаровский // Доклады Академии наук СССР.- Москва : Наука, 1973. - Т. 208, № 2.- С 329-330. |
| URI: | https://elib.gsu.by/handle123456789/79416 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Верховский_Внутренние.pdf | 141.3 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.