| Название: | Внутренние напряжения в пленках SiO₂, полученных методом высокотемпературного окисления кремния |
| Авторы: | Верховский, Е.И. Ажажа, Э.Г. Епифанов, Г.И. Санжаровский, А.Т. |
| Дата публикации: | 1973 |
| Издательство: | Наука |
| Библиографическое описание: | Внутренние напряжения в пленках SiO₂, полученных методом высокотемпературного окисления кремния / Е.И. Верховский, Э.Г. Ажажа, Г.И. Епифанов, А.Т. Санжаровский // Доклады Академии наук СССР.- Москва : Наука, 1973. - Т. 208, № 2.- С 329-330. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.gsu.by/handle123456789/79416 |
| Располагается в коллекциях: | Оцифрованный фонд |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Верховский_Внутренние.pdf | 141.3 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.