Название: | Радиационно-физическая альфа-установка для обработки полупроводниковых приборов и материалов |
Авторы: | Терентьев, Б.М. Белюсенко, Н.А. Пекарский, Н.А. |
Ключевые слова: | радиационно-физическая альфа-установка обработка полупроводниковых приборов и материалов |
Дата публикации: | 1981 |
Издательство: | Атомиздат |
Библиографическое описание: | Терентьев, Б.М. Радиационно-физическая альфа-установка для обработки полупроводниковых приборов и материалов / Б. М. Терентьев, Н. А. Белюсенко, Н. А. Пекарский // Атомная энергия / АН СССР. - М. : Атомиздат, 1981. - Т. 51, вып. 4. - С. 284. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/23598 |
Располагается в коллекциях: | Оцифрованный фонд |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Terentyev_Radiatsionno-.pdf | 2.16 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.