Название: Радиационно-физическая альфа-установка для обработки полупроводниковых приборов и материалов
Авторы: Терентьев, Б.М.
Белюсенко, Н.А.
Пекарский, Н.А.
Ключевые слова: радиационно-физическая альфа-установка
обработка полупроводниковых приборов и материалов
Дата публикации: 1981
Издательство: Атомиздат
Библиографическое описание: Терентьев, Б.М. Радиационно-физическая альфа-установка для обработки полупроводниковых приборов и материалов / Б. М. Терентьев, Н. А. Белюсенко, Н. А. Пекарский // Атомная энергия / АН СССР. - М. : Атомиздат, 1981. - Т. 51, вып. 4. - С. 284.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/23598
Располагается в коллекциях:Оцифрованный фонд

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Terentyev_Radiatsionno-.pdf2.16 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.