Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Свиташев, К.К. | - |
| dc.contributor.author | Семененко, А.И. | - |
| dc.contributor.author | Семененко, Л.В. | - |
| dc.contributor.author | Соколов, В.К. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-09-30T06:43:51Z | - |
| dc.date.available | 2021-09-30T06:43:51Z | - |
| dc.date.issued | 1972 | - |
| dc.identifier.citation | Об измерении параметров тонких двухслойных диэлектрических пленок на полупроводниковых подложках эллипсометрическим методом / К. К. Свиташев, А. А. Семененко, Семененко Л. В., Соколов В. К. // Оптика и спектроскопия / АН СССР. - Т. XXXII, вып. 5. - 1972. - С. 1020-1026. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/27328 | - |
| dc.language.iso | Русский | ru |
| dc.publisher | Наука | ru |
| dc.title | Об измерении параметров тонких двухслойных диэлектрических пленок на полупроводниковых подложках эллипсометрическим методом | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udk | 535.39 | - |
| dc.placeOfPublication | Ленинград | ru |
| dc.edition | 5 | ru |
| dc.volume | XXXII | ru |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Свиташев_Об_измерении.pdf | 11.14 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.