| Название: | Об измерении параметров тонких двухслойных диэлектрических пленок на полупроводниковых подложках эллипсометрическим методом |
| Авторы: | Свиташев, К.К. Семененко, А.И. Семененко, Л.В. Соколов, В.К. |
| Дата публикации: | 1972 |
| Издательство: | Наука |
| Библиографическое описание: | Об измерении параметров тонких двухслойных диэлектрических пленок на полупроводниковых подложках эллипсометрическим методом / К. К. Свиташев, А. А. Семененко, Семененко Л. В., Соколов В. К. // Оптика и спектроскопия / АН СССР. - Т. XXXII, вып. 5. - 1972. - С. 1020-1026. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/27328 |
| Располагается в коллекциях: | Оцифрованный фонд |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Свиташев_Об_измерении.pdf | 11.14 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.