| Title: | Об измерении параметров тонких двухслойных диэлектрических пленок на полупроводниковых подложках эллипсометрическим методом |
| Authors: | Свиташев, К.К. Семененко, А.И. Семененко, Л.В. Соколов, В.К. |
| Issue Date: | 1972 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | Об измерении параметров тонких двухслойных диэлектрических пленок на полупроводниковых подложках эллипсометрическим методом / К. К. Свиташев, А. А. Семененко, Семененко Л. В., Соколов В. К. // Оптика и спектроскопия / АН СССР. - Т. XXXII, вып. 5. - 1972. - С. 1020-1026. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/27328 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Свиташев_Об_измерении.pdf | 11.14 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.