Учёт влияния естественного поверхностного слоя при исследовании кремниевых пластин методом спектральной эллипсометрии

Abstract

Исследуется возможность исключения влияния естественного поверхностного слоя при определении методом спек- тральной эллипсометрии дисперсии показателей преломления n(λ) и поглощения k(λ) полупроводниковой подложки. Показано, что при решении обратных эллипсометрических задач можно использовать простейшую модель переходно- го слоя с одним параметром, который определяется толщиной и показателем преломления слоя.