| Title: | К теории метода эллипсометрии |
| Authors: | Семененко, А.И. |
| Issue Date: | 1975 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | Семененко, А.И. К теории метода эллипсометрии / А.И. Семененко // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1975. – Т. 39, вып. 5. – С. 967-972. |
| Abstract: | Рассмотрены ошибки в определении поляризационных углов ѱ и Δ, обусловленные немонохроматичностью источника излучения. Показано, что эти ошибки неодинаковы в разных измерительных зонах эллипсометра. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/34100 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Семененко_К_теории.pdf | 7.69 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.