| Название: | К теории метода эллипсометрии |
| Авторы: | Семененко, А.И. |
| Дата публикации: | 1975 |
| Издательство: | Наука |
| Библиографическое описание: | Семененко, А.И. К теории метода эллипсометрии / А.И. Семененко // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1975. – Т. 39, вып. 5. – С. 967-972. |
| Краткий осмотр (реферат): | Рассмотрены ошибки в определении поляризационных углов ѱ и Δ, обусловленные немонохроматичностью источника излучения. Показано, что эти ошибки неодинаковы в разных измерительных зонах эллипсометра. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/34100 |
| Располагается в коллекциях: | Оцифрованный фонд |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Семененко_К_теории.pdf | 7.69 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.