| Название: | К теории метода эллипсометрии |
| Авторы: | Семененко, А.И. Миронов, Ф.С. |
| Дата публикации: | 1977 |
| Издательство: | Наука |
| Библиографическое описание: | Семененко, А.И. К теории метода эллипсометрии / А.И. Семененко, Ф.С. Миронов // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1977. – Т. 42, вып. 3. – С. 528-532. |
| Краткий осмотр (реферат): | Построена точная теория измерительных зон эллипсометра, учитывающая явления многократного отражения светового пучка от границ пластины компенсатора. Получены формулы, позволяющие определять параметры компенсатора f и δ эллипсометрическим путем. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/36545 |
| Располагается в коллекциях: | Оцифрованный фонд |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Семененко_К_теории.pdf | 8.04 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.