Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Семененко, А.И. | - |
| dc.contributor.author | Миронов, Ф.С. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-04-04T10:36:31Z | - |
| dc.date.available | 2022-04-04T10:36:31Z | - |
| dc.date.issued | 1977 | - |
| dc.identifier.citation | Семененко, А.И. К теории метода эллипсометрии / А.И. Семененко, Ф.С. Миронов // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1977. – Т. 42, вып. 3. – С. 528-532. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/36545 | - |
| dc.description.abstract | Построена точная теория измерительных зон эллипсометра, учитывающая явления многократного отражения светового пучка от границ пластины компенсатора. Получены формулы, позволяющие определять параметры компенсатора f и δ эллипсометрическим путем. | ru |
| dc.language.iso | Русский | ru |
| dc.publisher | Наука | ru |
| dc.title | К теории метода эллипсометрии | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udk | 535.39.01 | - |
| dc.placeOfPublication | Ленинград | ru |
| dc.edition | 3 | ru |
| dc.volume | 42 | ru |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Семененко_К_теории.pdf | 8.04 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.