Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Семененко, А.И. | - |
| dc.contributor.author | Миронов, Ф.С. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-04-04T10:36:31Z | - |
| dc.date.available | 2022-04-04T10:36:31Z | - |
| dc.date.issued | 1977 | - |
| dc.identifier.citation | Семененко, А.И. К теории метода эллипсометрии / А.И. Семененко, Ф.С. Миронов // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1977. – Т. 42, вып. 3. – С. 528-532. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/36545 | - |
| dc.description.abstract | Построена точная теория измерительных зон эллипсометра, учитывающая явления многократного отражения светового пучка от границ пластины компенсатора. Получены формулы, позволяющие определять параметры компенсатора f и δ эллипсометрическим путем. | ru |
| dc.language.iso | Русский | ru |
| dc.publisher | Наука | ru |
| dc.title | К теории метода эллипсометрии | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udk | 535.39.01 | - |
| dc.placeOfPublication | Ленинград | ru |
| dc.edition | 3 | ru |
| dc.volume | 42 | ru |
| Располагается в коллекциях: | Оцифрованный фонд | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Семененко_К_теории.pdf | 8.04 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.